解决方案1：超高精度光学元件解决方案
日期：2023-12-29 16:36:12
访问：111次
来源：本站
在光刻机曝光镜头、天文望远镜等系统中，为了实现高分辨率，需要形状精度优于1/200 RMS的超高精度光学镜片。
■加工目标
形状精度优于1/200 RMS
■适用材料
熔石英、微晶、蓝宝石、氟化钙、硅、碳化硅等
■技术难点
√中频误差抑制
■应用领域
光刻物镜、标准器具、天文望远镜等
